X-ray lithography for micro- and nano-fabrication at ELETTRA for interdisciplinary applications / E. DI FABRIZIO; F. ROMANATO; S. CABRINI; R. KUMAR; F. PERENNES; M. ALTISSIMO; L. BUSINARO; D. COJOC; L. VACCARI; M. PRASCIOLU; CANDELORO P. - In: JOURNAL OF PHYSICS. CONDENSED MATTER. - ISSN 0953-8984. - 16(2004).
Titolo: | X-ray lithography for micro- and nano-fabrication at ELETTRA for interdisciplinary applications |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2004 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12317/2034 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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